再生加工について
当社は創業以来、シリコンウエハーの再生加工を主事業としている業界のパイオニアです。創業当時より全従業員が各役割のなかで品質向上に努め、技術力の底上げと顧客満足度を追求してまいりました。当社のシリコンウエハー再生加工は自然豊かな長崎の地で最先端の加工・検査装置を使用し、高品質な製品を供給しています。
事業紹介
シリコンウエハーの再生加工Regeneration processing in the middle of silicon
最先端の技術力でお客さまニーズに対応
お客さまで使用済みとなったダミーウエハーやテストウエハーをお預かりし、当社独自のノウハウで新品ウエハーと同等の品質に戻します。
地球に優しい再生ウエハーで環境保全に貢献
シリコンウエハーの主原料となるシリコンは、珪石という鉱物から生成されます。とりわけシリコンウエハーに使用されるシリコンは、高純度な単結晶シリコンでなければなりません。当社は地球環境を大切にし、限りある資源を守るべく事業を展開しています。
お客さまより使用済みになったダミーウエハーやテストウエハーをお預かりし、再生加工、検査を実施して新品ウエハーと同等の品質にしてお客さまへご提供いたします。再生利用できない状態のウエハーについては、当社にて買い取りいたします。
再生加工プロセス
膜処理工程
テスト等で使用されたシリコンウエハーには、絶縁膜や金属膜などが付着しています。当社ではそれぞれの膜に合わせた薬液で化学的にこれらの膜を除去いたします。
受入検査工程
膜処理後のシリコンウエハーの状態を検査員がチェックし、研磨加工前の厚みや、その他特性の確認を行います。
研磨工程
シリコンウエハーの表面にあるキズやパーティクルを除去する工程です。研磨時の精度はミクロン単位で制御され、高品質な仕上がりを実現いたします。
洗浄工程
研磨後のシリコンウエハーを洗浄し、パーティクルや金属不純物を除去いたします。
検査工程
検査員による外観検査のほか、目に見えないミクロンレベルのパーティクルは測定機による全数測定を実施いたします。